| |
| |
|
SMV-2023-09: Konstrukce, vývoj a depozice optických tenkovrstvých soustav
Pokorný, Pavel ; Oulehla, Jindřich
Výzkum a modelování možností realizace optických filtrů splňujících zadané spektrální vlastnosti a následné ověření teoretických úvah depozicí vzorků metodou napařování elektronovým svazkem a ověření reprodukovatelnosti. Konkrétně se jedná o LowPass-, HighPass- a BandPass-filtry, dichroická zrcadla, filtry korigující spektrální průběh propustnosti, antireflexní vrstvy, děliče apod. pro různé úhly dopadu světla.
|
| |
| |
|
Příprava a strukturování tenké vrstvy oxidu vanadičitého pro nanofotoniku
Spousta, Jiří ; Musálek, Tomáš (oponent) ; Rovenská, Katarína (vedoucí práce)
Oxid vanadičitý je stále častěji používaný materiál pro výrobu laditelných metapovrchů díky své jednoduše dosažitelné fázové přeměně z nevodiče na kov, nastávající okolo 67°C. V této bakalářské práci jsme se zabývali optimalizací přípravy tenké vrstvy VO2 získané dvěma depozičními metodami; napařováním elektronovým svazkem a iontově asistovaným naprašováním. Vrstvy získané napařováním jsme dále pomocí elektronové litografie a leptání reaktivními ionty strukturovali a pozorovali vliv morfologie struktur na jejich optické vlastnosti. Fázovou přeměnu vyrobených vrstev a nanostruktur jsme ověřovali užitím spektroskopických metod, zejména pak měřením transmise vzorků v závislosti na teplotě. Pro iontově asistované naprašování jsme zavedli nový proces získávání tenké vrstvy VO2, který během depozice využívá žíhání in situ. U vrstev deponovaných tímto novým procesem byla úspěšně prokázána fázová přeměna typická pro VO2.
|
| |
| |
| |
| |